系统的核心，集成上述纯化技术。
将纯化后的气体无污染地送至使用点。关键在于采用316L不锈钢等低析出材料、电解抛光（EP） 处理内表面，以及自动轨道焊接确保连接处零泄漏。
实时监测纯度和流量。常采用PLC（可编程逻辑控制器） 实现全自动运行、安全联锁和异常处理。
如UHP气体控制面板和阀门歧管箱（VMB），负责向具体设备精确供气。
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