示意图片 | 产品系列 | 流量范围 | 过滤精度 | 核心滤材 | 适用场景 | 对标国际竞品 |
 | HPC-M | 0~60slpm | ≥0.003μm | 双层疏水 PTFE 滤膜 | 超高纯工艺气（如光刻胶涂覆用 He 载气、刻蚀工艺反应气） | Entegris Wafergard® II F Micro |
HPC-ML | 0~120slpm | ≥0.003μm | 双层疏水 PTFE 滤膜 | 中高流量工艺气（如物理气相沉积 PVD、化学气相沉积 CVD 工艺气） | Pall Gaskleen® Light Series | |
 | HPC-N | 0~600slpm | ≥0.003μm | PTFE 滤膜 | 大宗气体（如干燥压缩空气、氮气吹扫气、仪表气） | Entegris Linegard™ MAX-FP |
 | HPC-B | 0~1000slpm | ≥0.003μm | 全氟内芯 + PTFE 滤膜 | 高杂质工艺气（如离子注入工艺气、扩散炉保护气） | Pall Gaskleen® V Series |
 | HPC-Z | 0~3000slpm | ≥0.003μm | PTFE / 全氟内芯（可选） | 超大流量大宗气（如半导体厂房集中供氮气、氢气主管道） | Entegris Linegard™ GIGAX-FP |
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