VMB/VMP系列半自动阀门分流箱，用于半导体行业特气主管道连接至各工艺设备之间的分流，各支路可独立控制对应的工艺设备，通过开关按钮控制各支路送气方便简洁。阀门管件均采用316L不锈钢材料制造，内表面EP处理，符合超高纯气体输送要求。电气控制符合工业电气安全规范及电磁兼容性规范要求，柜体符合防爆要求。
序列号 | 控制类型 | 气体种类 | 进气管规格 | 出气管规格 | 出口数 |
VMB | 11 | SiH4 | 4 | 2 | 4 |
VMB阀门分流箱 VMP阀门分流盘 | 11：半自动 12：手动 | SiH4 NH3 H2 N2 … … | 4：1/4” 6：3/8” 8：1/2” | 4：1/4” 6：3/8” | 4:4 出口 6:6 出口 不填默认4出口 |
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