洁净元器件分析仪气体纯化器气瓶柜化学过滤器气体过滤器

GC/GR系列气瓶柜

GC/GR系列气瓶柜，适用于半导体行业小流量工艺气体的供气，双瓶自动切换可实现连续供气。HMI人机界面智能控制触屏操作，压力监测齐全，工作指示形象化。阀门管件均采用316L不锈钢材料制造，符合超高纯气体输送要求。电气控制符合工业电气安全规范及电磁兼容性规范要求，柜体符合防爆要求。

应用领域

● 半导体行业

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产品参数

序列号

控制类型

气体种类

系统规格

出口数

SiH4

GC气瓶柜

11: 双瓶全自动

12: 双瓶半自动

SiH4: 硅烷

NH3: 氨气

H2: 氢气

... ...

4: 1/4" 系统

6: 3/8" 系统

空白: 单出口

2: 双出口

3: 三出口

Series

Control Type

Gas Type

System Specification

Number of Outlets

GR气瓶柜

11: 双瓶全自动

12: 双瓶半自动

13: 单瓶手动

N2: 氮气

Ar: 氩气

He: 氦气

... ...

4: 1/4" 系统

空白: 单出口

2: 双出口

核心优势

全自动智能控制

集成PLC控制、以太网/现场总线通信、条形码扫描，实现自动切换与清理，无需人工干预。

不间断稳定供应

通过自动切换机制和盘管/歧管设计，确保气源持续输出，无中断风险。

多重安全防护

配备气瓶保护装置、安全阀门及专用加热夹套，针对易燃、有毒、腐蚀性气体提供全程安全管控。

深度净化与温控模块

内置深度净化歧管和加热模块，可对气体进行高纯过滤并维持适宜温度，满足严苛工艺要求。

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