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大口径洁净阀门

适用于半导体气体行业的管路控制。阀门采用优质不锈钢波纹管密封技术，有效杜绝内、外泄漏，确保长期稳定运行。

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产品参数

检测标准：全系列通过API 598 阀门泄漏测试、氦质谱检漏（漏率≤1×10⁻⁹atm・cm³/sec），及定制化检测要求。

经长期工况验证，阀门在 - 29~350℃温度波动、15bar 压力波动下，仍保持零泄漏状态，避免高纯气浪费（每年可减少 15%~20% 气体损耗），同时防止外部杂质污染,保证生产安全。

1/2~1寸口径覆盖半导体中小到大流量高纯气管路需求，焊接连接方式稳定可靠，可适配氮气保护气、氧化气、He/Ar 载气等多种非腐蚀性介质，满足光刻、刻蚀、沉积等全制程气路控制需求。

替代传统密封圈密封后，无需定期更换密封圈，维护频率降低 60% 以上；使用寿命长达 15 年，相比传统阀门（平均寿命 5~8 年），设备更换成本减少 50%，综合使用成本降低 40%。

提供快速和个性化的服务

实现自动化，降低人力成本和生产损耗

提高您的生产率，通过全方位的过程监控，令生产过程稳定运行

更高的精度和优异的表面，提升您的产品质量

智能化设计，降低安全风险

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